Lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm silicon carbide nkoj txhawb nqa thiab kev txhawb nqa nkoj quartz yog tib yam. Silicon carbide nkoj txhawb nqa tau zoo heev tab sis tus nqi siab. Nws suav nrog lwm txoj kev sib raug zoo nrog quartz nkoj txhawb nqa hauv cov khoom siv roj teeb uas muaj kev ua haujlwm hnyav (xws li cov khoom siv LPCVD thiab cov khoom siv boron diffusion). Hauv cov khoom siv roj teeb ua haujlwm nrog cov kev ua haujlwm zoo tib yam, vim yog kev sib raug zoo ntawm tus nqi, silicon carbide thiab quartz nkoj txhawb nqa ua ke thiab sib tw pawg.
① Hloov kev sib raug zoo hauv LPCVD thiab boron diffusion khoom
LPCVD cov cuab yeej siv rau roj teeb cell tunneling oxidation thiab doped polysilicon txheej txheej txheej txheem. Txoj haujlwm ua haujlwm:
Nyob rau hauv cov huab cua tsis tshua muaj siab, ua ke nrog qhov tsim nyog kub, tshuaj lom neeg cov tshuaj tiv thaiv thiab kev tso tawm zaj duab xis tau ua tiav los npaj ultra-thin tunneling oxide txheej thiab polysilicon zaj duab xis. Nyob rau hauv lub tunneling oxidation thiab doped polysilicon txheej txheej txheej txheem, lub nkoj txhawb nqa muaj kub ua hauj lwm thiab ib tug silicon zaj duab xis yuav muab tso rau saum npoo. Lub thermal expansion coefficient ntawm quartz yog txawv heev ntawm silicon. Thaum siv cov txheej txheem saum toj no, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tsis tu ncua kom tshem tawm cov silicon tso rau saum npoo kom tiv thaiv lub nkoj quartz los ntawm kev tawg vim thermal expansion thiab contraction vim qhov sib txawv thermal expansion coefficient ntawm silicon. Vim yog nquag pickling thiab tsis tshua muaj siab kub lub zog, lub nkoj quartz muaj lub neej luv luv thiab nquag hloov hauv qhov oxidation thiab doped polysilicon txheej txheej txheej txheej txheej txheem, uas ua rau cov nqi ntau lawm ntawm cov roj teeb ntawm tes. Lub expansion coefficient ntawm silicon carbide yog ze rau ntawm silicon. Nyob rau hauv lub qhov oxidation thiab doped polysilicon txheej txheej txheej txheej txheej txheem, kev sib xyaw silicon carbide nkoj tuav tsis xav tau pickling, muaj lub zog kub kub thiab kev pab lub neej ntev, thiab yog lwm txoj hauv kev zoo rau lub nkoj quartz.
Cov khoom siv boron nthuav dav feem ntau yog siv rau cov txheej txheem ntawm doping boron ntsiab ntawm N-hom silicon wafer substrate ntawm lub roj teeb ntawm tes los npaj P-hom emitter los ua ib qho kev sib tshuam PN. Lub hauv paus ntsiab lus ua haujlwm yog kom paub cov tshuaj tiv thaiv thiab molecular deposition zaj duab xis tsim nyob rau hauv ib tug high-temperature cua. Tom qab cov zaj duab xis tsim, nws tuaj yeem diffused los ntawm high-temperature cua sov kom paub qhov doping muaj nuj nqi ntawm silicon wafer nto. Vim lub siab ua hauj lwm kub ntawm boron expansion khoom, lub quartz nkoj tuav muaj tsawg-kub lub zog thiab ib tug luv luv kev pab cuam lub neej nyob rau hauv lub boron expansion khoom. Kev sib xyaw ua ke ntawm silicon carbide nkoj tuav muaj lub zog kub-kub thiab yog lwm txoj hauv kev zoo rau lub nkoj quartz hauv cov txheej txheem boron expansion.
② Hloov kev sib raug zoo hauv lwm cov khoom siv txheej txheem
SiC nkoj txhawb nqa muaj peev xwm tsim tau nruj thiab ua tau zoo heev. Lawv tus nqi feem ntau yog siab dua li ntawm quartz nkoj txhawb nqa. Hauv kev ua haujlwm dav dav ntawm cov cuab yeej ua haujlwm ntawm tes, qhov sib txawv hauv kev pabcuam lub neej ntawm SiC nkoj txhawb nqa thiab kev txhawb nqa nkoj quartz yog me me. Cov neeg siv khoom hauv qab feem ntau sib piv thiab xaiv ntawm tus nqi thiab kev ua haujlwm raws li lawv tus kheej cov txheej txheem thiab kev xav tau. SiC nkoj txhawb nqa thiab kev txhawb nqa nkoj quartz tau dhau los ua ke thiab sib tw. Txawm li cas los xij, tag nrho cov nyiaj tau los ntawm SiC nkoj txhawb nqa yog qhov siab tam sim no. Nrog rau kev poob qis ntawm cov nqi tsim khoom ntawm SiC nkoj txhawb nqa, yog tias tus nqi muag ntawm SiC nkoj txhawb nqa kev poob qis, nws tseem yuav ua rau muaj kev sib tw ntau dua rau kev txhawb nqa nkoj quartz.
(2) Kev siv piv
Txoj kev thev naus laus zis ntawm tes feem ntau yog PERC thev naus laus zis thiab TOPCon thev naus laus zis. Kev lag luam sib koom ntawm PERC thev naus laus zis yog 88%, thiab kev lag luam feem ntawm TOPCon thev naus laus zis yog 8.3%. Kev sib koom ua lag luam ntawm ob yog 96.30%.
Raws li pom hauv daim duab hauv qab no:
Hauv PERC thev naus laus zis, kev txhawb nqa nkoj xav tau rau pem hauv ntej phosphorus diffusion thiab txheej txheem annealing. Hauv TOPCon thev naus laus zis, kev txhawb nqa nkoj yog xav tau rau pem hauv ntej boron diffusion, LPCVD, rov qab phosphorus diffusion thiab cov txheej txheem annealing. Tam sim no, silicon carbide nkoj txhawb nqa yog tsuas yog siv nyob rau hauv LPCVD txheej txheem ntawm TOPCon thev naus laus zis, thiab lawv daim ntawv thov hauv cov txheej txheem boron diffusion tau raug txheeb xyuas.
Daim duab thov ntawm lub nkoj txhawb nqa hauv cov txheej txheem ntawm tes:
Nco tseg: Tom qab txheej txheej pem hauv ntej thiab nraub qaum ntawm PERC thiab TOPCon thev naus laus zis, tseem muaj cov kauj ruam xws li kev tshuaj ntsuam luam ntawv, sintering thiab kuaj thiab sorting, uas tsis koom nrog kev siv lub nkoj txhawb nqa thiab tsis tau teev nyob rau hauv daim duab saum toj no.
(3) Kev txhim kho yav tom ntej
Nyob rau hauv lub neej yav tom ntej, nyob rau hauv tus ntawm cov kev ua tau zoo ntawm kev ua tau zoo ntawm silicon carbide nkoj txhawb nqa, kev nthuav dav ntawm cov neeg siv khoom thiab cov nqi txo thiab kev txhim kho kev lag luam photovoltaic, kev lag luam feem ntawm silicon carbide nkoj txhawb nqa yuav tsum nce ntxiv.
① Hauv qhov chaw ua haujlwm ntawm LPCVD thiab boron diffusion cov cuab yeej, kev ua haujlwm zoo ntawm silicon carbide nkoj txhawb nqa zoo dua li ntawm quartz thiab muaj lub neej ua haujlwm ntev.
② Cov neeg siv khoom nthuav dav ntawm silicon carbide nkoj txhawb nqa cov tuam txhab sawv cev los ntawm lub tuam txhab yog du. Ntau tus neeg siv khoom hauv kev lag luam xws li North Huachuang, Songyu Technology thiab Qihao Tshiab Zog tau pib siv silicon carbide nkoj txhawb nqa.
③ Kev txo nqi thiab kev txhim kho kev ua haujlwm tau ib txwm ua raws li kev lag luam photovoltaic. Txuag cov nqi los ntawm cov roj teeb loj loj yog ib qho kev tshwm sim ntawm kev txo nqi thiab kev txhim kho kev ua haujlwm hauv kev lag luam photovoltaic. Nrog cov qauv ntawm cov roj teeb loj dua, qhov zoo ntawm silicon carbide nkoj txhawb nqa vim lawv qhov kev ua tau zoo tshaj plaws yuav pom tseeb dua.
Post lub sij hawm: Nov-04-2024