AlN Heater los ntawm semicera yog cov cua kub siab tshaj plaws tsim los ntawm txhuas nitride ceramic, tsim los rau kev ua haujlwm siab hauv kev lag luam xws li semiconductors, lub tshuab nqus tsev, thiab lwm yam. Lub tshuab cua sov no tshwj xeeb thermal conductivity thiab hluav taws xob rwb thaiv tsev ua rau nws zoo tagnrho rau cov cua sov hauv qhov xav tau ib puag ncig xws li kev ua wafer, lub tshuab nqus tsev vacuum, thiab cov tshuab sputtering.
Ntawm semicera, peb txaus siab rau peb tus kheej ntawm kev xa cov khoom lag luam sab saum toj uas ua tau raws li kev lag luam xav tau, thiab AlN Heater tsis muaj qhov zam. Ua los ntawm txhuas nitride (AlN), lub rhaub no muaj cov cua sov ua haujlwm zoo, tsis tshua muaj thermal expansion, thiab muaj peev xwm tiv taus qhov kub thiab txias yam tsis muaj kev cuam tshuam kev ua haujlwm. Nws cov khoom siv hluav taws xob muaj txiaj ntsig ua rau nws tsim nyog rau cov txheej txheem tseem ceeb xws li tshuaj vapor deposition (CVD) thiab lwm daim ntawv thov nyias.
Tsis tas li ntawd, AlN rhaub yog zoo meej rau kev koom ua ke rau hauv wafer heaters thiab lub tshuab nqus tsev vacuum evaporators, ua rau nws muaj ntau yam kev daws teeb meem rau cov tuam txhab lag luam uas vam khom cov khoom cua sov zoo ib yam. Nrog txhuas nitride machining thiab precision nitride ntawm txhuas siv, lub rhaub yog tsim rau lub sij hawm ntev kev cia siab thiab precision cua sov tswj.
Yog tias koj tab tom nrhiav rau AlN txhuas nitride tov uas ua tau zoo nyob rau hauv ob qho tib si durability thiab efficiency, semicera muab kev ntseeg siab rau hauv AlN rhaub. Lub tshuab hluav taws xob siab tshaj plaws no txhawb nqa cov thev naus laus zis hauv CVD cov txheej txheem, sputtering, thiab lwm yam kev siv semiconductor, pab tswj cov txheej txheem kev ncaj ncees hauv qhov chaw kub kub.
